| Статус: | действующий (Введен впервые) |
| Обозначение: | ГОСТ 8.591-2009 |
| Название рус.: | ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки |
| Дата актуализации текста: | 17.06.2011 |
| Дата добавления в базу: | 17.06.2011 |
| Дата введения в действие: | 01.11.2010 |
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт" |
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (05.04.2010) |
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2010 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Операции и средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки и подготовка к ней 8 Проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха Библиография |
| Ключевые слова: | методика поверки сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов лазерный интерферометр |